Производство полупроводниковых приборов
Брук В.А., Гаршенин В.В., Курносов А.И.
В учебном пособии описаны основные типы полупроводниковых приборов и интегральных схем, принцип действия, производство, измерения и испытания. Приведены сведения о материалах, применяемых в полупроводниковом производстве, контроле их качества и требованиях к ним. Третье издание переработано и дополнено описанием новых технологических методов, используемых при производстве полупроводниковых приборов. Более полно рассмотрены прецизионная обработка полупроводниковых материалов, способы защиты поверхности р — n переходов нитридными и стеклянными пленками, технологические приемы изготовления фотошаблонов, корпусов и элементов интегральных схем. Книга предназначена в качестве учебника для подготовки рабочих полупроводникового производства.
Տարի:
1973
Հրատարակում:
3-е, перераб. и доп.
Հրատարակչություն:
Высшая школа
Լեզու:
russian
Էջեր:
264
Ֆայլ:
PDF, 12.69 MB
IPFS:
,
russian, 1973